项目名称：北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目

项目编号：1495-234thhrlab04/06

(资料图片)

招标范围：产品名称：X射线荧光光谱仪设备 数量：1台 简要技术规格：X射线荧光光谱仪(XRF)是一种半导体检测设备，具体规格如下： 1)用于硅片表面金属厚度检测，具备对多种金属材料如Al、Ni、Ti、Ag等及其合金的膜厚进行非破坏性测试功能； 2)Al元素测试限：0.01~15μm； 3)Au元素测试限：0.005~10μm； 4)Ag元素测试限：0.005~4μm； 5)测厚精度：RSD<5%； 6)X射线光斑尺寸：≤35μm； 7)适用于6、8英寸晶圆。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2023-06-30 09:30

公示时间：2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59

中标结果公告时间：2023-07-07 14:34

中标人：瑞德仪实业有限公司

制造商：BOWMAN Analytics,Inc.

制造商国家或地区：美国